物理敏感半導體傳感器將物理量轉換成電信號的器件，按敏感對象分為光敏、熱敏、力敏、磁敏等不同類型，具有類似于人的視覺、聽覺和觸覺的功能。這類器件主要基于電子作用過程，機理較為簡單，應用比較普遍，半導體傳感器的無觸點開關應用尤廣。它們與微處理機相配合，能構成遙控、光控、聲控、工業機器人和全自動化裝置。下表列出常用的物理效應。
　　化學敏感半導體傳感器將化學量轉換成電信號的器件，按敏感對象可分為對氣體、濕度、離子等敏感的類型，具有類似于人的嗅覺和味覺的功能。這類器件主要基于離子作用過程，機理較為復雜，研制較難，但有廣闊的應用前景。通常利用的化學效應有：氧化還原反應、光化學反應、離子交換反應、催化反應和電化學反應（固體電解質濃淡電池反應）等。
　　生物敏感半導體傳感器將生物量轉換成電信號的器件，往往利用膜的選擇作用、酶的生化反應和免疫反應，通過測量反應生成物或消耗物的數量達到檢測的目的。生物敏感傳感器所用的敏感功能材料是蛋白質，而蛋白質分子只能同特定物質起化學反應。通常利用的生物學效應有抗原抗體反應、酶作用下的氧化反應、微生物活組織和細胞的呼吸功能等。

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